从传统DUV逾越到EUV，话知象征光源从193nm猛烈延迟至13.5nm。术难需要将20Kw激光，度挑以每一秒5万次频率来轰击20微米的战极锡滴，将液态锡汽化成为等离子体。话知这至关於在飓风裏以每一秒五万次频率，术难让乒乓球打中一隻苍蝇两次。度挑